当前位置: 首页> 技术成果

技术成果咨询

联系方式

地址:上海市徐汇区岳阳路319号

邮编:200031

邮箱:33701033@qq.com
电话:021-64315866


网站二维码

cli_300px.png


标签
所有标签
生物 基因工程 工博会参展项目 信息 医药产品制备 产业化 “三高”类疾病检测治疗 材料研发生产 动植物培育研发 骨质疏松症治疗 肾脏功能检测优化 绿色节能环保 微生物 微生物工程 信息数据采集 植物性状优化 农业生产 安全监管技术设备 户外拍摄技术设备 科研检测设备技术革新 航空航天 传感器 细胞工程 高分子 生物科学 纳米技术应用 无人机 指纹采集器 重点项目 光学检测仪器 材料革新研发 3D打印机 动力电池 能源炼制处理技术 航拍技术 医疗设备 焊接技术设备 大数据智能管理平台 电子商务 飞博制造 大数据 氢能源制备 水净化技术 免疫性疾病诊断治疗 薄膜制备 涂层材料 病前诊断 太阳能电池 激光加工 工业燃料制备 离子刻蚀 汽车工业 工业排放治理 心血管疾病检测治疗 高速高频电机 新型材料 癌症肿瘤检测治疗 LED产业 环境检测保护 铁路交通 新能源 军用设备 智博会参展项目 能源电池 实地建模 代谢性疾病检测治疗 激光器 海洋环境保护 教育科技 VR技术 空气质量检测治理 终端设备 机器人 汽油炼油处理 镀膜玻璃 骨科疾病检测治疗 神经性疾病诊断治疗 室内智能家居 仪器装备维护 编码器 肝炎治疗 先进工业系统 食品安全检测 探测卫星 工业设计 有毒有害物质检测 塑料发泡 临床医学 清洗检测系统 柴油炼油处理 集成电路 储备电池 柔性显示触控 虹膜识别 封装工艺 厚膜技术 无机化学研究 超临界物质 光谱测量仪 纺织业

技术成果

编号
257
类别 技术成果
项目名称
无掩模扫描式光刻系统
项目简介
TZ全系列产品,光刻头可以进行单独订制,亦可订购配套使用的高精密位移平台。对于仅订购光刻头的用户,我们提供光刻头与现有平台的接口设计与通信控制等服务。
关键字
联系方式
说明

如果对该信息有兴趣,请与我们联系

中国科学院上海国家技术转移中心

咨询电话:021-64315866

项目和技术情况
基本信息
长春长光天辰光电科技有限公司(隶属于中国科学院长春光机所)开发并生产的TZ系列DMD无掩模滚动式扫描光刻设备,基于先进的DLP技术,通过DMD滚动显示图像,控制运动平台与图像的滚动显示同步来替代步进曝光,其投影曝光与移动相结合。并通过软件载入MASK实现DMD幅面均匀性曝光,真正实现面向工业化需求的高精度、高效率、大尺寸、任意图形无掩模光刻。
TZ全系列产品,光刻头可以进行单独订制,亦可订购配套使用的高精密位移平台。对于仅订购光刻头的用户,我们提供光刻头与现有平台的接口设计与通信控制等服务。
资金需求
面议
可出让的股份比例
面议
是否已转化
-
附件
其他
备注