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编号
86
仪器名称
扫描电子显微镜
关键字
仪器简介
主要性能指标: 分辨率 : 15kV,最高分辨率达到1.0nm;1kV,最高分辨率达到2.0nm; 放大倍数 :12x ~ 2000,000x; 电子枪:热场发射 样品电流: 5pA ~ 20nA; 加速电压: 0.05kV ~ 30kV。 应用领域: 广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。 测试项目: 主要用于材料的二次电子形貌像和背散射电子形貌像,并结合EDS和EBSD,分析材料的组份、结构、织构及取向等信息。
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